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清浄度監視システム

クリーンルーム内の清浄度測定は、リアルタイムに常時監視するのが最も良い方法です。測定ポイント数、対象粒径とコスト等に応じ、流路切替方式とセンサをポイント毎に設置する常時監視方式で提案します。

  • 流路切替方式(マニホールド方式)

    流路切替方式(マニホールド方式)
    パーティクルカウンタ1台で最大32ポイントを測定する切替え
    方式のシステムです。各測定ポイントまで長さ50mのサンプリン
    グチューブを使用するため、センサーユニット(マニホールド)の
    設置場所を広範囲で検討できます。将来、測定ポイント増設または移設を行う時もチューブ長50m範囲内で容易に対応ができます。
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  • 常時監視方式(センサ多点方式)

    常時監視方式(センサ多点方式)
    本システムは、各測定ポイントにパーティクルセンサを設置する常時監視システムです。LANケーブルを使用したデジタル通信方式を採用し、外部起因のノイズによるカウント不良対策に有効です。 測定データは監視パソコンへ収集され、グラフ表示・レポート作成・警報出力機能などを搭載したソフトウェアで一括管理します。
    パーティクルセンサより直接信号出力させるアナログ方式(4-20mA)仕様も対応できます。
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アフターサービス(校正・修理)について

モニタリンググループは、奈良工場及び東京サービスセンタの2拠点で修理・校正作業に対応しています。海外製品で懸念されているアフターサービスにおいて、ニッタ(株)は従来より国内に独自で技術サービスセンタを置くことで、国内メーカ同様またはそれ以上のメンテナンスサービス体制を構築しています。

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