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流路切替方式(マニホールド方式)

流路切替方式 (マニホールド方式)

本システムは、パーティクルカウンタ1台で最大32箇所を順次切り替えながら室内、製造装置内の発塵を監視します。
各測定箇所まで長さ50mのサンプリングチューブを使用できるため、センサーユニット(流路切替装置)の設置場所を広範囲で検討できます。測定箇所の増設、移設をするときはチューブ長50m範囲内で容易に対応できます。
計測データは、監視用PCへ収集され、レポート作成、グラフ表示、警報出力機能などを搭載したモニタリング ソフトウェアで一括管理します。

機器構成

パーティクルカウンタ、センサーユニット、サンプリングプローブ、チューブ、HUB、
LANケーブル、モニタリング ソフトウェア、パソコン

オプション

リモートI/O盤(システム制御用)、スタンド付プローブ(自立型)、ステンレス配管プローブ(耐除染)、
プローブ用キャップ(耐除染)、パソコン周辺機器、表示灯、その他ご要望に応じて対応

◆構成図

流路切替え方式の使用例 構成図

流路切替方式(マニホールド方式)

アフターサービス(校正・修理)について

モニタリンググループは、奈良工場及び東京サービスセンタの2拠点で修理・校正作業に対応しています。海外製品で懸念されているアフターサービスにおいて、ニッタ(株)は従来より国内に独自で技術サービスセンタを置くことで、国内メーカ同様またはそれ以上のメンテナンスサービス体制を構築しています。

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