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常時監視方式(センサ多点方式)

デジタル方式 (LAN)

本システムは、各測定箇所にパーティクルセンサを設置して連続的に室内、製造装置内の発塵を監視します。
データ伝送はLANケーブルを使用し外部起因のノイズによる計測不良対策に有効です。計測データは、監視用PCへ収集され、レポート作成、グラフ表示、警報出力機能などを搭載したモニタリング ソフトウェアで一括管理します。
または、モドバス入力に対応した記録計にもデータ伝送できます。

◆機器構成

パーティクルセンサ、真空ポンプ、サンプリングプローブ、真空チューブ、サンプリングチューブ、HUB、
LANケーブル、モニタリング ソフトウェア、パソコン

オプション

リモートI/O盤(システム制御用)、センサ収納ボックス(センサ保護用)、ステンレス配管プローブ(耐除染)、
プローブ用キャップ(耐除染)、パソコン周辺機器、表示灯、その他ご要望に応じて対応

システムフロー(参考)デジタル方式

アナログ方式 (4-20mA出力)

本システムは、各測定箇所にパーティクルセンサを設置して連続的に室内、装置内の発塵を監視します。
パーティクルセンサから直接、4-20mAの電流出力により中央監視設備、シーケンサーなどの記録計に微粒子数を伝送します。また、無電圧A接点により機器の状態を記録計に出力させることができます。

機器構成

パーティクルセンサ、真空ポンプ、サンプリングプローブ、真空チューブ、サンプリングチューブ、信号線

オプション

リモートI/O盤(システム制御用)、センサ収納ボックス(センサ保護用)、ステンレス配管プローブ(耐除染)、
プローブ用キャップ(耐除染)、表示灯、その他ご要望に応じて対応

システムフロー(参考)アナログ方式

常時監視方式(センサ多点方式)

アフターサービス(校正・修理)について

モニタリンググループは、奈良工場及び東京サービスセンタの2拠点で修理・校正作業に対応しています。海外製品で懸念されているアフターサービスにおいて、ニッタ(株)は従来より国内に独自で技術サービスセンタを置くことで、国内メーカ同様またはそれ以上のメンテナンスサービス体制を構築しています。

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