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クリーンルームの規格(ISO 14644-1:2015)

クリーンルームの規格(ISO 14644-1:2015)

クリーンルームの空気清浄度規格は、米国連邦規格FederalSTD-209シリーズが長く使用され、1立方フィート(1ft3)中の0.5μm以上の粒子数でクラス分けがされていました。
現在は、ISO14644-1が清浄度評価方法を含めて唯一の国際規格となっています。

1999 年にISO14644-1は制定されましたが、16年ぶりに2015年12月に改訂されました。

主な改訂内容

低濃度の微粒子数上限濃度の廃止

ISO 14644-1:2015 清浄度クラスの上限濃度(個/m3)

清浄度クラス 上限濃度(個/m3)
ISO14644-1 Fed.Std-209E 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
Class 1 10 廃止
Class 2 100 24 10 廃止
Class 3 Class 1 1,000 237 102 35 廃止
Class 4 Class 10 10,000 2,370 1,020 352 83
Class 5 Class 100 100,000 23,700 10,200 3,520 832 廃止
Class 6 Class 1,000 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
Class 7 Class 10,000 352,000 83,200 2,930
Class 8 Class 100,000 3,520,000 832,000 29,300
Class 9 35,200,000 8,320,000 293,000

仕様表は横にスクロールしてご覧ください。

クリーンルーム認証試験の95%UCLの廃止、平米あたりの測定点数の変更(平方根ルールの廃止)

改訂前はクリーンルームの最小測定点数は、「測定点数=√床面積」で決めていましたが、改定後は「Table A.1」に明記されている測定点数となりました。

測定回数の指定削除

改訂前は測定点が1点しかない場合、その位置で最低 3 回測定することを要求されていましたが、改訂後は測定回数の要求はされていません。

「Table A.1」

クリーンルームのエリア
(m2)≦
最小測定点数
(NL)
2 1
4 2
6 3
8 4
10 5
24 6
28 7
32 8
36 9
52 10
56 11
64 12
68 13
72 14
76 15
104 16
108 17
116 18
148 19
156 20
192 21
232 22
276 23
352 24
436 25
636 26
1000 27
>1000 NL=27 x (面積/1000)

(TSI 社製 パーティクルカウンター)

Model 試料空気流量 計測粒径区分 タイプ
9110 28.3L/min 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0μm ポータブル
9310 28.3L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm
9350 50L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm
9510 28.3L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
9550 50L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
9500 100L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
9303 2.83L/min 0.3/0.5(1.0/2.0/2.5)/5.0μm ハンドヘルド
9306 2.83L/min 0.3/0/5/1.0/3.0/5.0/10μm
RecDus-501 2.83L/min 0.5/5.0μm 無線ポータブル

仕様表は横にスクロールしてご覧ください。

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アフターサービス(校正・修理)について

修理・点検・校正作業は、ニッタ㈱奈良工場および東京サービスセンタの2拠点で対応しています。微粒子計測器の分野で30年以上の経験を持ち、知識、情報、専門的な技術を蓄積してきました。ニッタ独自の技術力で、優れたメンテナンスサービス体制を構築しています。

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